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[[abstract]]本研究以可溶性之金屬醋酸鹽及硝酸鹽化合物為原料,去離子水及無水酒精互相混合作為溶劑,在常壓下以浸鍍法配合有機金屬熱分解法,經適當熱處理,在矽晶片上沉積鈣鈦礦結構之La1-xAxMnO3-x (A=Ca、Sr、Ba)氧化物系薄膜。由實驗得知,溶液之溶質總克數2克,浸鍍速度100mm/min所製備出之薄膜表面品質較好。由X-光繞射圖知,薄膜經650℃熱分解後,已有鈣鈦礦結構產生。隨後續緻密化熱處理溫度增高,薄膜顯微組織愈加緻密化。 La-Ca-Mn-O薄膜於室溫下並無鐵磁性,...
[[abstract]]本研究以可溶性之金屬醋酸鹽及硝酸鹽化合物為原料,去離子水及無水酒精互相混合作為溶劑,在常壓下以浸鍍法配合有機金屬熱分解法,經適當熱處理,在矽晶片上沉積鈣鈦礦結構之La1-xAxMnO3-x (A=Ca、Sr、Ba)氧化物系薄膜。由實驗得知,溶液之溶質總克數2克,浸鍍速度100mm/min所製備出之薄膜表面品質較好。由X-光繞射圖知,薄膜經650℃熱分解後,已有鈣鈦礦結構產生。隨後續緻密化熱處理溫度增高,薄膜顯微組織愈加緻密化。 La-Ca-Mn-O薄膜於室溫下並無鐵磁性,...
[[abstract]]本研究以可溶性之金屬醋酸鹽及硝酸鹽化合物為原料,去離子水及無水酒精互相混合作為溶劑,在常壓下以浸鍍法配合有機金屬熱分解法,經適當熱處理,在矽晶片上沉積鈣鈦礦結構之La1-xAxMnO3-x (A=Ca、Sr、Ba)氧化物系薄膜。由實驗得知,溶液之溶質總克數2克,浸鍍速度100mm/min所製備出之薄膜表面品質較好。由X-光繞射圖知,薄膜經650℃熱分解後,已有鈣鈦礦結構產生。隨後續緻密化熱處理溫度增高,薄膜顯微組織愈加緻密化。 La-Ca-Mn-O薄膜於室溫下並無鐵磁性,...